Автоматизированный контроль аналоговых интегральных микросхем. Крылов В.П. - 38 стр.

UptoLike

Составители: 

38
мации, с одной стороны, и аппаратом дисперсионного анализа
как наиболее распространенным средством разделения дисперсий
контролируемых параметров на составляющие, с другой стороны.
Основная причина указанного противоречия переход от опера-
ционного контроля параметров рабочих элементов и схем к кон-
тролю специальных тестовых ИМС, элементов и структур, харак-
терный для технологии БИС. Исходная статистическая информация
для контроля точности в этих условиях представляет собой много-
мерную случайную последовательность, отличающуюся малым ко-
личеством попарно коррелированных длинных реализаций. Состав
выборки весьма неоднороден, что и обусловливает низкую эффек-
тивность аппарата дисперсионного анализа, особенно при распреде-
лениях погрешностей, отличных от нормальных.
Альтернативным подходом является использование методов фак-
торного анализа
8
. Для реализации этого подхода необходимо, во-
первых, с учетом принятого варианта организации технологического
процесса иметь модель взаимодействия исходных некоррелирован-
ных факторов, во-вторых, установить статистическую меру близо-
сти модели и реальной многомерной последовательности результатов
операционного контроля. В качестве основы модели факторного ана-
лиза предлагается использовать симметричную аддитивную схему
действия факторов, известную из теории корреляции
9
. В простей-
шем случае эта схема имеет вид:
(
Y
1
= u + v
1
;
Y
2
= u + v
2
,
(3.2)
где Y
1
, Y
2
случайные значения отклонений параметров тест-
элементов Y1 и Y2 от их номинальных значений, u случайное
значение отклонения общего, а v
1
, v
2
характерных технологиче-
ских факторов от их номинальных значений, причем u, v
1
, v
2
взаимно линейно не коррелированы, то есть не связаны линейными
корреляционными зависимостями.
8
Харман Г. Современный факторный анализ. М.: Статистика, 1962. 489 с.
9
Лукомский Я.И. Теория корреляции и ее применение к анализу производства.
М.: Госстатиздат, 1964. 388 с.