Технологии и подготовка производства печатных плат. Крылов В.П. - 27 стр.

Глава 4.
ХИМИЧЕСКИЕ И ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
В ТЕХНОЛОГИИ ПЕЧАТНЫХ ПЛАТ
4.1.   Травление меди: выбор травителя и утилизация
       отходов

   Под травлением понимают химическое растворение меди обычно
под действием жидких травящих растворов или, реже, активированных
газов (плазмохимическое травление). Перечислим требования к рас-
твору для травления меди:
   – скорость травления (измеряется в мкм/мин);
   – емкость по меди, то есть предельно допустимое увеличение кон-
центрации меди (измеряется в г/л);
   – селективность травления, что имеет значение при использовании
металлорезиста в позитивных методах;
   – возможность регенерации травильного раствора в процессе трав-
ления;
   – отсутствие взаимодействия с изолятором-основанием;
   – возможность экономичной утилизации без ущерба для окружаю-
щей среды;
   – минимальная анизотропия и боковой подтрав;
   – удовлетворение требованиям охраны труда работающих.
   Для поддержания постоянной скорости травления оно должно быть
струйным: горизонтальным или вертикальным. В этом случае струи
свежего (обновленного в замкнутом цикле) травителя с постоянной
скоростью воздействуют на медную фольгу, обеспечивая стабильность
процесса травления.
   Начнем с водного раствора на основе хлорного железа F eCl3 плот-
ностью 1,3 или 400 г/л, весьма популярного среди радиолюбителей.
При температуре травления около 35◦ C скорость травления порядка
35 мкм/мин. Это очень высокая скорость. Емкость по меди также вы-
сока: в пределах 75 – 105 г/л.