Методы связанных волн расчета оптических покрытий. Ловецкий К.П - 109 стр.

UptoLike

109
общности, будем считать, что нормаль к границам слоем направлена вдоль
оси
z
, а вектор решетки ориентирован вдоль оси
x
. Внутри решетки
периодическая функция диэлектрической проницаемости может быть
разложена в ряд Фурье:
( , ) ( )exp[ (2 / )],
h
h
x z z j h
(5.14)
где
()
h
z
это
h
-ый коэффициент Фурье диэлектрической проницаемости и
зависит от
z
. В общем случае коэффициенты Фурье являются
комплекснозначными. После стратификации покрытия на тонкие бинарные
слои, перпендикулярные вектору нормали, как показано на рис. 12, мы
можем применить метод связанных волн, развитый первоначально для
однослойных бинарных покрытий. Покрытие с произвольным профилем
может быть аппроксимировано сколь угодно точно за счет выбора толщин
отдельных слоев. При этом коэффициенты Фурье становятся
(приближенно) постоянными внутри каждого слоя. Диэлектрическая
проницаемость
l
-го слоя толщиной
l
d
может быть представлена при этом
в виде
(5.15)
Проблема рассеяния на сложном покрытии решается поэтапно. Во-
первых, метод связанных волн применяется к электромагнитному полю
внутри каждого слоя. Во-вторых, граничные условия для
электромагнитного поля (непрерывность тангенциальных компонент
электрического и магнитного поля) записываются для границы между
входной областью и первым слоем покрытия, затем для границы между
первым и вторым слоями покрытия и так далее, пока мы не дойдем до
границы между последним слоем и выходной областью. В-третьих,