ВУЗ:
Составители:
15
в этом случае удобно с помощью метода связанных волн (rigorous coupled
wave analysis– RCWA).
Для анализа дифракционных решеток строгий метод связанных волн
применили в 1981 г. M. Moharam, T. Gaylord.
Метод связанных волн основан на представлении электромагнитного
поля в однородных областях пространства до периодического объекта и
после него в виде линейной комбинации плоских волн. В области объекта
решаются уравнения Максвелла методом Фурье-преобразования. Для
нахождения неизвестных коэффициентов в рядах Фурье с помощью
граничных условий формируется система линейных алгебраических
уравнений.
Метод связанных волн позволяет относительно быстро рассчитывать
трехмерные поля дифракции на элементах микрооптики, например,
рассчитывать дифракцию плоской линейно-поляризованной волны на
бинарной решетке, период которой сравним с длиной волны падающего
электромагнитного излучения.
Метод связанных волн позволяет также решать задачи дифракции на
двумерных решетках из магнитного и анизотропного материалов.
Например, можно решить задачу расчета бинарных антиотражающих
структур с различными типами отверстий как для диэлектрического
материала, так и для металла. Например, при решении такой задачи можно
найти значения параметров отверстий в слое, при которых коэффициент
отражения равен нулю.
Кроме задач анализа дифракции электромагнитной волны на
элементах микрооптики метод связанных волн используется в задачах
синтеза или расчета дифракционных решеток или дифракционных
оптических элементов, обладающих заданными характеристиками. Такая
обратная задача решается, как правило, методами условной оптимизации.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 13
- 14
- 15
- 16
- 17
- …
- следующая ›
- последняя »
