Методы связанных волн расчета оптических покрытий. Ловецкий К.П - 71 стр.

UptoLike

71
Тема 4. Коническая дифракция
Рассмотрим подробно задачу конической дифракции плоской
монохроматической электромагнитной волны на одномерной
периодической решетке с помощью методы связанных волн - RCWA
(Rigorous Coupled-Wave Analysis). Целью этого рассмотрения является
изложение шаг за шагом методики решения сложной задачи
взаимодействия света с веществом строго обоснованным и численно
устойчивым методом. Изложение базируется на основополагающих
статьях М. Мохарама (M.G. Moharam) с соавт. [9].
Ниже будем использовать те же старые обозначения, что и в
предыдущих разделах.
4.1. Геометрия падающих плоских электромагнитных линейно-
поляризованных волн
Вектор напряженности электрического поля записывается в виде
произведения комплексной амплитуды
0
E
и фазового множителя
exp ( )
x y z
j k x k y k z
:
0
exp ( )
x y z
j k x k y k zEE
,
где
,,
x y z
k k k
компоненты волнового вектора, задающего фазу плоской
волны.
Компоненты
,,
x y z
k k k
могут зависеть от номера гармоники Фурье
(сформированной дифракционной структурой) отраженного и
преломленного полей.
Как и в формулах (2.11) и (2.12), тангенциальные компоненты
,
xy
kk
не зависят от коэффициента преломления среды, а нормальные
компоненты
z
k
зависят от коэффициента преломления среды.