Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 26 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Данный гироскоп относится к типу камертонных и позволяет измерять

величину угловой скорости при вращении его основания вокруг оси Х, распоJ

ложенной в плоскости подложки (см. рис.2.5). Регистрация амплитуды колебаJ

ний инерционных масс под действием сил Кориолиса производится с помощью

емкостных преобразователей перемещений, образуемых инерционными массаJ

ми и неподвижными электродами, расположенными под ними [12,41].

Инерционные массы посредством трех электростатических приводов приJ

водятся в колебательное движение в плоскости подложки. Векторы скоростей

инерционных масс находятся в противофазе друг другу. При возникновении угJ

ловой скорости вокруг оси Х под действием сил Кориолиса одна инерционная

масса будет подниматься над плоскостью подложки, а другая опускаться. ТаJ

ким образом, инерционные массы начинают совершать противофазные колебаJ

ния перпендикулярно плоскости подложки. Емкостные преобразователи переJ

мещений формируют выходной сигнал гироскопа, пропорциональный величине

угловой скорости [12,41].

На рис.2.6 представлена структура одноосного микромеханического гироJ

скопа [41].

Рис.2.6. Структура одноосного микромеханического гироскопа:

1 – инерционная масса; 2 – неподвижные электроды

электростатических приводов; 3 – упругий подвес

На рис.2.7 представлен интегральный микромеханический гироскоп с

двумя осями чувствительности [3,12].

Данный гироскоп относится к типу камертонных гироскопов и позволяет

измерять величины угловых скоростей при вращении его вокруг двух взаимно

перпендикулярных осей Х и Y, расположенных в плоскости подложки.

Принцип работы данного микромеханического устройства аналогичен

предыдущему. Отличие только в том, что инерционная масса одна, и она соверJ

шает возвратно-поступательное движение вокруг своей опоры в плоскости

подложки. При возникновении угловой скорости вокруг оси Х инерционная

масса начинает совершать колебания вокруг оси Y. При возникновении угловой

скорости вокруг оси Y – инерционная масса колеблется вокруг оси Х.