Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 28 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис.2.8. Двухосевой микромеханический гироскоп:

1 – инерционная масса; 2 – неподвижные электроды

электростатических приводов; 3 – опора

Рис.2.9. Микромеханический гироскоп с одной осью чувствительности

Рис.2.10. Интегральная сенсорная микросистема для регистрации

угловых скоростей по трем осям чувствительности