Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 27 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис.2.7. Микромеханический гироскоп с двумя осями чувствительности:

а – структура; б – топология

Выходной сигнал гироскопа формируют емкостные преобразователи

перемещений, образованные инерционной массой и электродами емкостных

преобразователей, расположенные под ней.

На рис.2.8. представлен двуосный микромеханический гироскоп, изготовJ

ленный по технологии поверхностной микрообработки[42].

На рис.2.9 приведен микромеханический гироскоп с одной осью чувствиJ

тельности карданнового типа [12,43].

Инерционная масса приводится в колебательное движение вокруг оси Х с

помощью электростатических приводов, образованных наружной рамкой и

электродами электростатических приводов. При возникновении угловой скороJ

сти вокруг оси Z внутренняя рамка под действием гироскопического момента

начинает совершать угловые колебания вокруг оси Y за счет кручения упругих

торсионов. Амплитуда колебаний внутренней рамки будет пропорциональна

величине угловой скорости, а фаза – направлению. Выходной сигнал формируJ

ется емкостными преобразователями перемещений, образованных внутренней

рамкой и электродом емкостных преобразователей [12,43].

Для регистрации угловых скоростей по трем осям чувствительности исJ

пользуют комбинации одно- и двуосных микромеханических гироскопов

(рис.2.10) [42].