Способы исследования поверхности методами атомно-силовой и электронной микроскопии. Нагорнов Ю.С - 17 стр.

UptoLike

17
Рис. 1.7. Схематичное изображение зондового датчика АСМ [1].
Добротность кантилеверов, в основном, зависит от той среды, в
которой они работают. Типичные значения добротности при работе в
вакууме составляют 10
3
- 10
4
. На воздухе добротность снижается до 300 -
500, а в жидкости падает до 10 - 100.
В атомно-силовой микроскопии применяются зондовые датчики двух
типов - с кантилевером в виде балки прямоугольного сечения и с
треугольным кантилевером, образованным двумя балками. Общий вид
зондовых датчиков с кантилевером в виде балки прямоугольного и
треугольного сечений представлены на рис.1.8.
А) Б)
Рис. 1.8. Общий вид зондового АСМ датчика с одиночной консолью прямоугольного
сечения (А) и с одиночной консолью треугольного сечения (Б) [1].