Способы исследования поверхности методами атомно-силовой и электронной микроскопии. Нагорнов Ю.С - 23 стр.

UptoLike

23
Экспоненциальная зависимость туннельного тока от расстояния (2)
позволяет осуществлять регулирование расстояния между зондом и
образцом в туннельном микроскопе с высокой точностью. СТМ
представляет собой электромеханическую систему с отрицательной
обратной связью (рис.1.13). Система обратной связи поддерживает
величину туннельного тока между зондом и образцом на заданном уровне
(I
0
), выбираемом оператором. Контроль величины туннельного тока, а
следовательно, и расстояния зонд-поверхность осуществляется
посредством перемещения зонда вдоль оси Z с помощью
пьезоэлектрического элемента.
Рис.1.13. Упрощенная схема организации обратной связи по туннельному току
Изображение рельефа поверхности в СТМ формируется двумя
методами. По методу постоянного туннельного тока (рис.1.14) зонд
перемещается вдоль поверхности, осуществляя растровое сканирование;
при этом изменение напряжения на Z - электроде пьезоэлемента в цепи
обратной связи (с большой точностью повторяющее рельеф поверхности