Способы исследования поверхности методами атомно-силовой и электронной микроскопии. Нагорнов Ю.С - 36 стр.

UptoLike

36
Метод зонда Кельвина
Метод Зонда Кельвина позволяет изучать распределение
поверхностного потенциала по образцу. Для этого в процессе
сканирования необходимо поддерживать амплитуду колебаний зонда,
раскачиваемого электрическим полем на частоте своего механического
резонанса, равной нулю, путем изменения постоянного напряжения
смещения U
0
.
При сканировании значение переменной составляющей напряжения
смещения U
1
·sin(ωt) должно быть достаточно большим для возбуждения
колебаний зонда. Частота переменного электрического поля выбирается
равной резонансной частоте зондового датчика.
Если при каком-то значении постоянного напряжения амплитуда
колебаний становится равной нулю, значит это напряжение U
0
равно
поверхностному потенциалу в этой точке. Для исключения влияния
рельефа поверхности на результаты исследования используется
двухпроходная методика.
Рис.1.22. Первый проход зонда при сканировании для получения рельефа
поверхности [2]
В процессе сканирования производится следующая процедура. На
первом проходе сканируемой строки определяется рельеф по
полуконтактному методу (рис. 1.22). Во время второго прохода расстояние