Способы исследования поверхности методами атомно-силовой и электронной микроскопии. Нагорнов Ю.С - 37 стр.

UptoLike

37
между сканируемой поверхностью и зондовым датчиком поддерживается
постоянным (рис.1.23). Это расстояние должно быть достаточно большим,
чтобы исключить влияние рельефа. В таком случае зонд подвергается
воздействию только дальнодействующих сил, основной вклад в которые
осуществляется электрическими свойствами образца. Но расстояние dZ не
должно быть чрезмерно большим, так как в этом случае уменьшается
измеряемый сигнал и ухудшается латеральное разрешение.
Рис.1.23. Второй проход зонда сканирование осуществляется на
фиксированном расстоянии от поверхности. Фпотенциал поверхности [2].