ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
39
- Относительно простая адаптация и управление дополнительными
приборами для анализа в микродиапазоне.
Всё вышеперечисленное делает сканирующий электронный
микроскоп крайне необходимым инструментом при исследовании и
анализе самых разных материалов, в том числе и полученных методом
электроосаждения [8,9]. Общая функциональная схема сканирующего
электронного микроскопа представлена на рис. 2.1. Электронная пушка
имеет высокий отрицательный потенциал и является катодом, который
эмитирует электроны. Материалом катода в сканирующих электронных
микроскопах, как правило, является вольфрам (W) или гексаборид лантана
(LaB
6
). Система формирования узкого и интенсивного пучка быстро
летящих с катода электронов, включает в себя управляющий электрод и
анод и аналогична совокупности рассеивающей и собирающей линзы в
световой оптике. Далее, пучок электронов проходит через традиционную
линзовую систему электронной оптики, а именно формируется с помощью
системы конденсорных линз и фокусируется в так называемый узкий
электронный зонд.
Отклоняющая система развёртывает зонд по заданной площади на
объекте. При взаимодействии электронов зонда с объектом возникает
несколько видов вторичных продуктов взаимодействия, сигналы от
которых могут регистрироваться соответствующими детекторами. После
аналого-цифрового преобразования и усиления эти сигналы
визуализируются с помощью персонального компьютера. Развёртка пучка
в мониторе персонального компьютера производится синхронно с
развёрткой электронного зонда в сканирующем электронном микроскопе и
на экране монитора наблюдается увеличенное изображение объекта.
Увеличение при этом равно отношению размера кадра на экране монитора
к соответствующему размеру сканируемой поверхности объекта.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 37
- 38
- 39
- 40
- 41
- …
- следующая ›
- последняя »
