ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
41
существуют определённые пределы понижения ускоряющего напряжения.
С понижением энергии первичных электронов усиливаются также
физические воздействия, которые уменьшают получаемое разрешение.
Чаще всего работают с ускоряющим напряжением от 10 до 25 кВ.
Рабочее расстояние определяется как расстояние между
сфокусированной поверхностью образца и краем объективной линзы. Оно
является определяющим для получаемого разрешения, соотношения
сигнал / шум, глубины резкости и получаемого минимального увеличения
(обзорное увеличение). Для изменения рабочего расстояния в микроскопе
предметный столик перемещается в вертикальном направлении. В
результате этого интересуемое место на образце выходит за пределы
фокуса и для того, чтобы соответствующее место на образце
представлялось резко, проводится дополнительная фокусировка с
помощью изменения остальных управляющих параметров.
Зондовый ток или ток падающего пучка электронов (суммарный
заряд, переносимый электронным пучком через его поперечное сечение в
единицу времени) определяет диаметр луча, который оказывает решающее
влияние на получаемое разрешение и на соотношение сигнал / шум
изображения. Если зондовый ток уменьшается, то также уменьшается и
диаметр луча, в результате чего в центре пятна будет меньше первичных
электронов и, вместе с тем, уменьшаются вторичные процессы, которые
обнаруживает детектор. Вследствие этого ухудшается соотношение
сигнал / шум, но увеличивается разрешение, которое зависит
непосредственно от диаметра луча. Если же зондовый ток увеличивается,
то соотношение сигнал / шум улучшается, а получаемое разрешение
ухудшается.
Выбор тех или иных значений управляющих параметров зависит
также от материала исследуемого образца. Так, ускоряющее напряжение и
зондовый ток оказывают решающее влияние на глубину проникновения
электронного луча в поверхность образца. Если исследуется материал с
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 39
- 40
- 41
- 42
- 43
- …
- следующая ›
- последняя »
