ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
40
Рис. 2.1. Общая функциональная схема сканирующего электронного микроскопа
Важнейшие параметры сканирующего электронного микроскопа,
необходимые для создания изображения и анализа содержащейся в
изображении информации – это ускоряющее напряжение, рабочее
расстояние и зондовый ток.
Ускоряющее напряжение между катодом и анодом задаёт энергию
первичных (или падающих) электронов, сканирующих поверхность
образца. От энергии первичных электронов и плотности исследуемого
материала зависит глубина проникновения электронов в материал. Чем
выше энергия первичных электронов и ниже плотность (порядковое число)
материала, тем больше глубина проникновения электронов в исследуемый
материал. В результате этого изображение определяется не только
информацией о непосредственной поверхности образца, но и структурами,
лежащими на некотором расстоянии под поверхностью. Поэтому, чтобы
получить как можно больше информации о самой поверхности образца,
необходимо работать, по возможности с более низким ускоряющим
напряжением. Однако для сканирующих электронных микроскопов
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 38
- 39
- 40
- 41
- 42
- …
- следующая ›
- последняя »
