Технологические процессы микроэлектроники. Наумченко А.С - 1 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

851

)07(81.382.621

−

№ 3206

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РФ

ТАГАРОГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ

РАДИОТЕХНИЧЕСКИЙ

УНИВЕРСИТЕТ

РУКОВОДСТВО

К ЛАБОРАТОРНЫМ РАБОТАМ

ПО КУРСУ

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

Для студентов специальностей 200100, 200800,

220500,

Всех форм обучения

Таганрог 2003

Кафедра Микроэлектроники Технологии Больших интегральных схем