ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
УДК 621.382.81.002 (076.5)+681.325.5 – 181.48 (076.5)
Наумченко А.С., Светличный А.М. Руководство к
лабораторным работам по курсу «Технологические процессы
микроэлектроники». – Таганрог: ТРТУ, 2002, 54 с
Табл.10, илл.15, библиогр.8
В сборнике содержатся описания трех лабораторных работ
по изучению технологических процессов – окисления кремния,
фотолитографии и создания выводов ИМС. Приводится
описание используемого оборудования.
Рецензент: И.И. Пивоваров- зав.
отделением ТНИИС
2 55
