ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
Пр од ол жение 1 таблицы ПЗ
№
п/п
Операция
Контроли-
руемые па-
раметры
технологи-
ческой среды
Контролируемые параметры
объекта производства
Материалы
технологических
и защ ит ных сред
Технологическое оборудование
4
Диффузия сурьмы
для формирования
скрытых n - слоев
а) первая стадия
диффузии (за го нка
приме си) при
Т=1150°С
б) удаление сурьмя-
носиликатного ст е к ла
в) вторая ст а д ия
диффузии (разгонка
приме си в глубь по-
лупроводника)
при Т= 1200°С
T, t, M
r
Вне шний вид, удельное
поверхностное с опротивле-
ние p
s
, глубина залегания
р-n перехода
Xj
Азот газообразный( или ар-
гон), сурьма кристалличе-
ская, раствор для выяв-
ле ния р-n перехода, тра-
вильный раствор, с пирт
этиловый ре ктифирован-
ный, вода деионизиро-
ванна я марки А, батист от-
бе ле нный мерсеризован-
ный, фильтр обеззоле н-
ный, алмазная паст а (на ос-
нове тонкого микропорош-
ка)
Печь диффузионна я т ипа ДОМ,
установка для измере ния
p
s
·(четырехзондовая) типа ЦИУС,
микроскоп т ипа МИМ-7, приспо-
собление для получе ния шарового
шлифа, модуль для травле ния пла -
стин линии химической обработки
«Лада-Элект роника»
5
Удаление SiO
2
с по-
верхности пла ст ин
(пос ле диффузии
сурьмы)
T,t Вне шний вид
Травитель (65%-на я HF),
вода де ионизова нная мар-
ки А, батист от бе ленный
мерсе ризова нный
Модули линии фотолитографии
«Лада-Эле кт роника»
ON
-J
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 66
- 67
- 68
- 69
- 70
- …
- следующая ›
- последняя »
