ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
Продолжение 3 таблицы ПЗ
№
п/п
Операция
Конт ролируе мые парамет-
ры технологической среды
Конт ролируе мые парамет-
ры объекта производства
Материалы техноло-
гических и за щ итных
сред
Технологиче-
ское оборудо-
вание
9 Диффузия бора для фор-
мирования разделитель-
ных р-областей:
а) пе р в ая ст а дия диффу-
зии (загонка примес и) при
Т=950°С
б) удаление боросиликат-
ного стекла (БСС) и SiO
2
в) вторая ст а д ия диффу-
зии (ра згонка пр имеси)
с одновреме нным
окислением пла стин по
системе cухой
O
2
- пары
воды - сухой O
2
при
Т=1150°С
T, t, M
г
Вне ш ний вид. P
s
, X
j
,
Трехбромистый бор,
азот газообразный,
кислород газообраз-
ный, раствор для вы-
явле ния р-n перехода,
травильный раствор,
спирт этиловый рек-
тификова нный, вода
де ионизова и на я мар-
ки А, ба т и ст отбелен-
ный ме рсеризованный
Аналогично
операции 4
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 68
- 69
- 70
- 71
- 72
- …
- следующая ›
- последняя »
