ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
Продолжение 4 таблицы ПЗ
№
п/п
Операция
Контролируе-
мые параметры
технологической
среды
Конт ролируе-
мые парамет-
ры объекта
производства
Материалы технологи-
ческих и защит ных сред
Технологическое
оборудование
10
Фотолитография 3 для вскрытия окон под
диффузию бора(перед формированием базо-
вых р-областей а)- з)аналогично операции 3
Ана л огично операции 3
И Диффузия бора для формирования ба з о в ы х
р-областей а)перва я ст а д ия диффузии (за гонка
примес и) при Т =950 °С; б)удаление БСС
в)вторая стадия диффузии (ра зго н к а примеси в
сухом О
2
) при Т=115б"С
Ана л огично операции 9
12 Фотолитография 4 для вс к р ыт ия окон под
диффузию фосфора: а)- з)аналогично операции
3
Ана л огично операции 3
13
Диффузия фосфора для формирования эмит-
терных и приконтактных коллекторных
n+-областей:
а) первая ст а дия диффузии (за г о н к а примеси)
при Т= 1000°С;
б)термообработка в сухом кислороде при
Т=1000°С
T,t,M
г
Вне шний вид,
Ps,
X
J
Хлорок ись фосфора
РОСl
3
, кислород га зо-
образный, травильный
раствор, с пирт этило-
вый ре кт ификова нный,
батист от бе ленный
ме рсеризова нный
Печь диффузион-
ная типа ДОМ, ус-
тановка для изме -
ре ния p
s
(четырех-
зондов а я ) типа ЦИ-
УС, микроскоп ти-
па МИМ-7, модуль
(для травле ния пла -
стин из линии хи-
мической обработки
«Лада-Электроника»
о
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 69
- 70
- 71
- 72
- 73
- …
- следующая ›
- последняя »
