Проектирование и технология микросхем. Романова М.П. - 74 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

УлГТУ | Ульяновск

Составители: 

Рубрика: 

При ложение 4.
Виды и причины наиболее типи чн ых деф ек тов на операциях технологического маршрута изготов-
ления пластин и структур полупроводник овых мик росхе м на биполярных_транзисторах
Таблица П.4
Операция Виды де фе к т ов Причины де ф ек т ов Примечания
Резка
слитка
кремния
на пла-
ст ины
Неплоскост нос ть отрезаемых пла -
стин более допуст имой (а)* ; сколы,
трещ ины (на пове рхнос ти пласти-
ны) с размерами более допустимых
(б); геометрические параметры и
глубина на руше нного слоя поверх-
нос ти пла ст ины не соответствуют
допус тимым (в); отклонение от
кристалл ографическ ой о рие нта -
ции более допус тимого (г)
Измене ние режущего инструме нта в
процессе резки (а), увеличение ради-
ального биения режущей кромки бо-
лее допуст имого (б); неоптимально
выбраны режимы резания (такие как
скорость резания , ра б о ч а я подача
слитка и расход см а зоч но -
охлаждающей жидкости) (в); нет оч-
нос ть разв орота оп равки от носи-
тельно режущего инструме нта (г)
Прич ины дефектов указаны для резки слитков
алмазным кругом с внутренней режущей кромкой,
Для слитков Диаметром более 150 мм приме няют
резк у алма зной ле нто чн ой пи ло й, реж ущу ю
кромку которой изгот авливают либо по всей протя
-
женност и ленты, либо в виде от д е л ь н ы х сегментов.
Последнее, как и сам способ реализации резк и, в
этом случае при определенных условиях сущест
-
венно влияет на качество получаемых пла ст ин.
После
р
езки слитка ше
р
оховатость пове
р
хност
и
пла ст ин с ост авля ет 2, 0 - 3 , Омкм
Шлифо-
вание
пла ст ин
кремния
Дефекты геометр ической формы
пла ст ины (неплоскост ность, непа -
раллельность сторон, прогиб, раз-
брос по толщ ине) более допусти -
мых (а), на личие сколов на кромках
пла ст ин (б)
Из нос шли фоваль ник ов более до-
пус тимого (а), наруш ение режима
шлифова ния (рабочего давления на
пла ст ины, скорости вращения шли-
фова льника , постоянст ва температу-
ры в зоне ш лифования либо пос тоян-
ства вязкости абразивной суспензии
во времени) (а. б); отсутствие кон-
троля состояния сепараторов, удержи-
вающих пластины при шлифовании (б)
В случае кре пле ния пластин к шлифовальной го-
ловке
(
п
р
и шли
ф
ова нии несвободным аб
р
азивом
)
причиной дефектов могут быть также неравномер
-
нос ть толщ ины клеящего слоя, недопуст имый раз-
брос толщин одновре менно шлифуемых пла ст ин и
др. После шлифования шероховатость пла стин со
-
ставляет 0,2 - 0,5 мкм
*Обозначения в скобках следует понимат ь: де ф е кт (а) в гра ф е "Виды дефектов" вызван причиной (а) в гра фе "Причины дефектов" и
т.д.

Страницы