Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 110 стр.

каленых втулок, запрессованных в нижнюю плиту пресс формы.
      Внутренний диаметр во втулках выполняется диаметром 5,01+0,005.
      Внешний диаметр 10 мм под запрессовку в плиту выполняется диаметром 10
и 6 для стальной плиты или диаметром 10 и 8 для дюралевой плиты пресс-формы.
Штифты при этом диаметром 10-0,005.
      При запрессовке диаметр втулки усаживается в среднем на 7-9 мкм, после
чего внутренний диаметр укладывается в размер диаметром 5 (+0,012).
      Пресс-формы со стальными плитами эксплуатируются для габаритов не
более 250х300 мм, штифты в них разнесены по контуру.
      При     этом    втулки      выполнялись    диаметром    5,   а   штифты
диаметром 4,95-0,01.
      Для прецизионных МПП снизить величину несовмещения слоев можно за
счет изменения положения нулевого базового отверстия.
      Таким положением «0» целесообразно выбирать центр слоя.
      В результате величина несовмещения будет в два раза меньше усадки
материала, так как последняя распространяется от центра во все стороны к
периферии слоя.
      Все три базовые отверстия располагаются на продольной оси симметрии.
      Центральное отверстие выполняется диаметром 5 (+0,012), центральный
штифт диаметром 5 -0,005, -0,01. Два краевых отверстия - пазы с шириной 5 при
плоских штифтах.
      Теперь при прессовании слои имеют свободу перемещения от центра к
периферии по X и Y, поворот слоя гарантированно ограничен по большой стороне.
      Кроме прессования такое же базирование принято на операциях
изготовления рабочих фотошаблонов, экспонирования и сверления, т.е. сквозное
базирование на весь техпроцесс.
      Базирование имеет ряд преимуществ:
      •     снижение влияния усадки материала в два раза;
      •     можно ввести поправку при изготовлении фотошаблонов или
      сверловке, условно усадка изменяется по линейному закону от центра «0»,
      •     облегчена сборка пакета при прессовании,
      •     прост процесс контроля погрешностей фотошаблона и слоя, т.к. «0»
      микроскопа совмещается с центром центральной базы;
      Кроме названной оснастки, при изготовлении прецизионных МПП
применяется сквозная оснастка метода «ПАФОС» - носитель.
      Для слоев габаритом 200х250 мм применим носитель габаритом 260х340 мм
из нержавеющей стали толщиной 1 мм, в котором расточены три базовых
отверстия: центральное - диаметром 5 и два крайних паза шириной 5.
      Введение в техпроцесс «ПАФОС» новой оснастки - носителя потребовало
создания нового оборудования:
      •     установки щелочной очистки носителей от эпоксидной смолы;
      •     станка зачистки поверхности носителей;
      •     станка зачистки фольги с торцов носителя;
      •     штампов изготовления базовых шайб.

     Прессование МПП.
     Основной отличительной технологической операцией изготовления МПП от
ДПП является операция склеивания отдельных слоев прессования.

                                     110