Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 108 стр.

печати.
      Как правило, это составы на эпоксидной основе, отверждаемые термически
или УФ излучением. При относительной дешевизне основным их недостатком
является низкая разрешающая способность и необходимость использования
сеткографического трафарета.
      2. Паяльные маски, рисунок которых формируется фотолитографическим
методом (их еще называют фоторезистивные паяльные маски).
      Эти паяльные маски позволяют формировать рисунок любой сложности и в
последнее время получили наибольшее распространение.
      В свою очередь фоторезистивные паяльные маски по методу нанесения
делятся на два типа:
      а). сухие паяльные маски;
      б). жидкие паяльные маски.

      Сухая паяльная маска (СПМ).
      СПМ выпускается в виде пленки толщиной 50, 75, 100 и 150 мкм и по
свойствам и методам использования очень похожа на сухой пленочный фоторезист
(СПФ), используемый для получения рисунка печатной платы. СПМ имеет, однако,
два существенных отличия, определяющие особенности ее нанесения,
формирования и использования:
      СПМ является конструкционным материалом и должна выдерживать не
только технологические, но и эксплуатационные воздействия во время всего срока
эксплуатации ПП.
      СПМ       наносится   на    рельеф,    образованный    сформированным
наружным слоем ПП.
      Для нанесения СПМ необходимо специальное оборудование - т.н.
вакуумный ламинатор - особое устройство с вакуумной подогреваемой камерой,
обеспечивающее плотное прилегание толстой пленки СПМ на рельеф ПП.
Толщина СПМ выбирается из условия прокрытая необходимой высоты рельефа.
      hСПМ = 0,7 hрельефа
      Следует всегда иметь в виду, что основной проблемой при нанесении СПМ
является ее адгезия к поверхности ПП, поэтому перед ламинированием
поверхность ПП должна быть тщательно очищена от всякого рода органических и
неорганических загрязнений. Надо также помнить, что адгезия СПМ к покрытиям,
изменяющим агрегатное состояние в процессе технологических обработок или
эксплуатационных воздействий может резко ухудшаться. Речь идет в первую
очередь о покрытиях оловянно-свинцовыми и другими легкоплавкими припоями.
Предпочтительным является нанесение СПМ на «голую» медь, допустимым - на
никель, золото.
      После ламинирования следуют стандартные операции экспонирования и
проявления. Существуют СПМ, как органического, так и водно-щелочного
проявления. Последние получают все более широкое распространение в связи с
более простой процедурой регенерации промывочных вод и утилизации
проявочных растворов.
      После формирования рисунка паяльная маска подвергается операции
задубливания, которая заключается в окончательной полимеризации материала
СПМ для набора им в полном объеме защитных свойств, обеспечивающих
механическую, термическую и климатическую защиту поверхности ПП от

                                     108