Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 58 стр.

                         Лабораторная работа 4
    Методы и технология изготовления фотошаблонов
      Цель работы
   1. Изучить технологические процессы изготовления фотошаблонов.
   2. Ознакомиться с принципами работы оборудования для изготовления
      фотошаблонов.
   3. Изучить характеристики и типы фотоматериалов для фотошаблонов.
   4. Изучить методы контроля фотошаблонов.
   5. Изучить методы структурного формирования комплектов фотошаблонов для
      различных технологических вариантов производства ПП.
   6. Изучить ионно-плазменный метод формирования пленочных маскирующих
      покрытий на основе окислов металлов.
      Теоретические сведения
      Условные обозначения
      ПП - печатная плата. МПП - многослойная печатная плата. КП - контактная
площадка. ФМ - фотоматериал. ФТ - фототехнический материал. ФО -
фотохимическая обработка. ФШ - фотошаблон. РФШ - рабочий фотошаблон. ДП -
фотоматериал со светочувствительным диазослоем на пленочной основе. БЗ -
базовый знак. Д0 - оптическая плотность прозрачного поля проявленного
фотоматериала. Д - оптическая плотность не прозрачного поля проявленного
фотоматериала. S - общая светочувствительность фотоматериала. К - контраст
фотографического изображения на фотоматериале, λ - длина волны.
      Основным технологическим методом производства микроэлектронных
структур и ПП в частности является фотолитография, а основным инструментом
фотолитографического процесса - фотошаблон (ФШ), посредством которого
формируется рисунок топологии слоев в резисте.
      В современной технологии для изготовления ФШ применяются
фотоматериалы, обладающие высокой разрешающей способностью и высокой
контрастностью.
      Для      изготовления     фотошаблонов       применяют      специальное
высокопрецизионное оборудование - фотокоординатографы и генераторы
изображений, с помощью которых в эмульсионном слое фотоматериала
формируется скрытое (латентное) изображение.
      Фотохимическую обработку проэкспонированного фотошаблона проводят в
проявочных автоматах - «процессорах».
      В приложении 3 приведена схема типового технологического процесса
изготовления фотошаблонов в современном производстве ПП.
      Оборудование для производства фотошаблонов.
      Разработка оригинала фотошаблона, включающего всю необходимую
графическую информацию для изготовления ПП, осуществляется, главным
образом, с применением ЭВМ следующими двумя способами:
      1. «DA» (Design Automation - Автоматизированное проектирование). Данный
способ эффективен при массовом проектировании стандартизованных ПП. При
этом способе ЭВМ проводит все процессы обработки в соответствии с проектными
данными.
      2. «CAD» (Computer Aided Design - проектирование с помощью ЭВМ). Этот
способ заключается в проектировании проводимом проектировщиком с

                                     58