Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 59 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

59
проведением диалога с ЭВМ через графический дисплей. Данный способ
применяется для проектирования стандартных печатных плат, требующих
специальной обработки. Система CAD получила наиболее широкое применение. В
стадии проектирования схемы соединений получают данные, необходимые для
изготовления оригинала фотошаблона при помощи экспозиционного
графопостроителя - фотокоординатографа, генератора изображений и др.
Фотокоординатограф - фотооптическое устройство для вычерчивания
световым лучом топологии и другой необходимой информации на фотоматериале,
используемом для изготовления фотошаблона. Фотокоординатограф состоит из
следующих основных узлов:
• фотоголовки с объективом и набором апертурных диафрагм;
• источника света с блоком конденсаторов;
• механизма привода для перемещения фотоголовки;
• механизма привода для перемещения координатного стола;
• блока управления механизмами координатного перемещения;
• устройства ввода и обработки информационных данных.
Ниже приведены некоторые основные характеристики современных
фотокоординатографов:
1. Скорость рисования, 100 – 150 мм/с;
2. Точность позиционирования, 25 – 30 мкм;
3. Разрешающая способность, 40-50 лин/мм;
4. Число апертур до 50.
На рис.1 приведена типовая схема фотокоординатографа.
Рис. 1. 1.Устройство управления приводами; 2.Специализированная ЭВМ; 3.Механизм
привода фотоголовки; 4.Объектив; 5.Зеркало; 6.Затвор с механизмом привода; 7. Блок
апертур с механизмом привода; 8.Блок конденсаторов; 9.Источник света;
10.Фотоматериал; 11.Координатный стол; 12.Привод координатного стола.
Более высокие технические параметры имеют генераторы изображений, в
которых в качестве источника света используется лазер.
Монохроматичность и высокая интенсивность лазерного излучения, в
сочетании со сканирующей разверткой сфокусированного луча по поверхности
фотоматериала, позволяют на порядок увеличить производительность
изготовления фотошаблонов в сравнении с производительностью достигаемой на
фотокоординатографах.
В лазерных генераторах изображения (ЛГИ) в основном используются два
типа лазеров: гелий-неоновый (I = 633 нм) и аргоновый (I = 470 – 540 нм). 
проведением диалога с ЭВМ через графический дисплей. Данный способ
применяется для проектирования стандартных печатных плат, требующих
специальной обработки. Система CAD получила наиболее широкое применение. В
стадии проектирования схемы соединений получают данные, необходимые для
изготовления    оригинала     фотошаблона    при   помощи    экспозиционного
графопостроителя - фотокоординатографа, генератора изображений и др.
      Фотокоординатограф - фотооптическое устройство для вычерчивания
световым лучом топологии и другой необходимой информации на фотоматериале,
используемом для изготовления фотошаблона. Фотокоординатограф состоит из
следующих основных узлов:
•     фотоголовки с объективом и набором апертурных диафрагм;
•     источника света с блоком конденсаторов;
•     механизма привода для перемещения фотоголовки;
•     механизма привода для перемещения координатного стола;
•     блока управления механизмами координатного перемещения;
•     устройства ввода и обработки информационных данных.
      Ниже приведены некоторые основные характеристики современных
фотокоординатографов:
      1. Скорость рисования, 100 – 150 мм/с;
      2. Точность позиционирования, 25 – 30 мкм;
      3. Разрешающая способность, 40-50 лин/мм;
      4. Число апертур до 50.
      На рис.1 приведена типовая схема фотокоординатографа.




 Рис. 1. 1.Устройство управления приводами; 2.Специализированная ЭВМ; 3.Механизм
 привода фотоголовки; 4.Объектив; 5.Зеркало; 6.Затвор с механизмом привода; 7. Блок
       апертур с механизмом привода; 8.Блок конденсаторов; 9.Источник света;
      10.Фотоматериал; 11.Координатный стол; 12.Привод координатного стола.

      Более высокие технические параметры имеют генераторы изображений, в
которых в качестве источника света используется лазер.
      Монохроматичность и высокая интенсивность лазерного излучения, в
сочетании со сканирующей разверткой сфокусированного луча по поверхности
фотоматериала, позволяют на порядок увеличить производительность
изготовления фотошаблонов в сравнении с производительностью достигаемой на
фотокоординатографах.
      В лазерных генераторах изображения (ЛГИ) в основном используются два
типа лазеров: гелий-неоновый (I = 633 нм) и аргоновый (I = 470 – 540 нм).
                                         59

Страницы