Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 61 стр.

      В состав производственного участка для изготовления фотошаблонов входят
так же процессор для фотохимической обработки экспонированного
фотоматериала, контактное устройство для получения копий с черно-белых
фотоматериалов, контактное устройство для получения копий на диазопленках
(ДП), проявочное устройство для ДП, а так же контрольное измерительное
оборудование - денситометры и микроскопы.
      Фотохимическая обработка в процессоре состоит из совокупности операций,
которым подвергается экспонированный фотоматериал с целью превращения
скрытого изображения в видимое.
Обязательные операции фотохимической обработки:
•     проявление,     в     результате    которого    в   фотослое    образуется
видимое изображение,
•     фиксирование, в ходе которого это изображение закрепляется и становится
устойчивым к действию света.
      В современной технологии эти процессы осуществляют с помощью
проявочных автоматов («процессоров»), в которых строго регламентированы
условия фотохимической обработки - постоянство химического состава реагентов,
температура и время процесса.
      Фотоматериалы для фотошаблонов
      Фототехнические пленки выпускаются в виде листов форматом от 13х18 см
до 50х60 см, а так же в рулонах. Импортные фотоматериалы выпускаются также
форматом 70х80 см. Фототехнические пленки обозначаются буквами Ф.Т. с
двухзначным или трехзначным индексом. Первая или две первые цифры при
трехзначном индексе обозначают значение коэффициента контрастности, что
соответствует градации 1, 2, 3, 4, 10. Вторая и третья цифры индекса показывают
характер сенсибилизации:
      - несенсибилизированная,
      - ортохроматическая,
      - изопанхроматическая.
      Буквы в обозначениях некоторых фотоматериалов имеют определенные
значения: Ш - штриховая, К - контрастная. Например, фотопленка ФТ-41,
применяемая для репродукционных работ и изготовления ФШ имеет следующие
фотографические показатели:
      Светочувствительность S - 0,5-1,0; контрастность К - 45; фотографическая
плотность Д0 < 0,08; Д > 3; разрешающая способность -180 лин/мм.
      В производстве фотошаблонов применяют особоконтрастные и
сверхконтрастные       репродукционно-штриховые         фотопластины.     Общая
чувствительность фотопластинок 4-8 ед., разрешающая способность - 70-80
лин/мм.
      Характеристики фотоматериалов:
      Оптическая плотность, Д - безразмерная величина, характеризирующая
степень ослабления оптического излучения в проявленных фотоматериалах за счет
поглощения и рассеяния при прохождении излучения через фотоматериал.
Фотографическая плотность изображения, измеряется с помощью денситометров.
      Контрастность, К - фотографического изображения определяется
разностью максимальной и минимальной оптических плотностей.
      Светочувствительность фотоматериала S - способность реагировать на
оптическое излучение. Светочувствительность количественно определяется по

                                       61