Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 60 стр.

      ЛГИ имеют следующие основные характеристики:
   1. Время экспонирования фотоматериала размером 500х600 мм., 3 - 7мин;
   2. Информативная разрешающая способность (пиксель), 6,5 - 12,5 мкм;
   3. Разрешающая способность реализуемая на фотоматериале, 40 – 50 лин/мм;
   4. Точность позиционирования, 6,5 - 12,5 мкм.
      В настоящее время нашли применение два типа ЛГИ, отличающихся
способами осуществления развертки лазерного луча:
•     цилиндрового типа, в которых развертка осуществляется за счет вращения
цилиндра и шагового перемещения объектива, фокусирующего излучение вдоль
образующей цилиндра.
•     с плоским координатным столом, движущимся по одной из осей координат и
разверткой с помощью вращающегося зеркального полигона по другой оси
координат.
      На рис.2 показаны схема ЛГИ различного тапа.




       Рис.2. Схема ЛГИ цилиндрового типа: 1 - устройство управления приводам;
2 -специализированная ЭВМ; 3 - механизм привода объектива; 4 - объектив; 5 - зеркало;
     6 - модулятор; 7 - лазер; 8 - сфокусированный луч лазера; 9 - цилиндр растровой
        развертки; 10 - фотоматериал; 11 - растр; 12 - механизм привода цилиндра.




 Рис. 3. Схема ЛГИ с плоским столом: 1 – устройство управления приводами; 2 – ЭВМ;
3 - механизм привода стола; 4 - фотоматериал; 5 - координатный стол; 6 - растр развертки
       лазерного луча; 7 - плоское зеркало; 8 – луч лазера; 9 - объектив; 10 - зеркало;
11 - зеркальный полигон развертки лазерного луча; 12 - модулятор; 13 - привод полигона;
                                         14 - лазер.

                                           60