Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 72 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

72
Рис.9. Схема экспериментальной
установки: 1 – защитный экран;
2 – мишень (распыляемый
материал); 3 – анод; 4 – внешняя
защитная сетка; 5 - эл. двигатель;
6 – стеклянный колпак; 7 – диск
(держатель подложек);
8 – резиновый уплотнитель;
9 – рабочая камера;
10 – вольфрамовый термокатод;
11 – боковая камера; 12 – выводы
катода; 13 – напуск газа; 14 – напуск
атмосферы.
Рис.10. Вакуумная схема установки
реактивного распыления: 1- рабочая
камера; 2 – натекатель (напуск
рабочего газа); 3 – напуск воздуха в
насос; 4 – форвакуумный насос;
5 – форвакуум; 6 – байпас;
7 – диффузионный насос; 8 – затвор
диффузионного насоса; 9 – напуск
воздуха в рабочую камеру
(разгерметизация); 10 – вакуумметр.
На рис. 4 далее приведено расположение органов управления установкой
реактивного распыления, выведенные на переднюю панель.
1
2
3
9
6
8
10
7
5
4
                                                Рис.9. Схема экспериментальной
                                                установки: 1 – защитный экран;
                                                2     –    мишень       (распыляемый
                                                материал); 3 – анод; 4 – внешняя
                                                защитная сетка; 5 - эл. двигатель;
                                                6 – стеклянный колпак; 7 – диск
                                                (держатель подложек);
                                                8 – резиновый уплотнитель;
                                                9 – рабочая камера;
                                                10 – вольфрамовый термокатод;
                                                11 – боковая камера; 12 – выводы
                                                катода; 13 – напуск газа; 14 – напуск
                                                атмосферы.




       1                                        Рис.10. Вакуумная схема установки
                               2                реактивного распыления: 1- рабочая
                                                камера; 2 – натекатель (напуск
                       9                        рабочего газа); 3 – напуск воздуха в
                                                насос; 4 – форвакуумный насос;
                           6           3
                                                5 – форвакуум; 6 – байпас;
10                                              7 – диффузионный насос; 8 – затвор
           8                                    диффузионного насоса; 9 – напуск
                                                воздуха     в    рабочую     камеру
                                   4            (разгерметизация); 10 – вакуумметр.
               7

                   5




      На рис. 4 далее приведено расположение органов управления установкой
реактивного распыления, выведенные на переднюю панель.




                                           72

Страницы