Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 74 стр.

UptoLike

Составители: 

74
Форма таблицы 2
Фотошаблоны для изготовления слоев в ПП негативным методом.
Тип образца ФШ
Шифр на
образце ФШ
Вид
изображения на
ФШ негатив позитив прямой зеркальный
1.
Рисунок верхнего
наружного слоя
2.
Рисунок
внутрен
него слоя
3.
Рисунок слоя ре-
зист защиты
Форма таблицы 3
Фотошаблоны для изготовления слоев ПП позитивным методом
Тип образца ФШ
Шифр на
образце ФШ
Вид
изображения на
ФШ
негатив позитив прямой зеркальный
1. Рисунок верхнего
наружного слоя
2.
Рисунок
внутреннего слоя
ПП
Форма таблицы 4
Фотошаблоны для изготовления слоев ПП методом ПАФОС
Тип образца ФШ
Шифр на
образце ФШ
Вид
изображения на
ФШ
негатив позитив прямой зеркальный
1.
Рисунок
внутреннего слоя
ПП
Форма таблицы 5
Фотошаблоны для изготовления слоев ПП тентинг-методом
Тип образца ФШ
Шифр на
образце ФШ
Вид
изображения на
ФШ
негатив позитив прямой зеркальный
1.
Рисунок верхнего
наружного слоя
ПП
Форма таблицы 6
Диаметр КП,
Д мм
Диаметр КП, d
мм
Ширина
проводника, Н
мм
Зазор между КП и
проводником, h
мм
1.
2.
3.
4.
                                                         Форма таблицы 2
      Фотошаблоны для изготовления слоев в ПП негативным методом.
         Вид                    Тип образца ФШ                     Шифр на
№ изображения на                                                   образце ФШ
         ФШ         негатив   позитив       прямой   зеркальный
1. Рисунок верхнего
    наружного слоя
2.     Рисунок
   внутреннего слоя
3. Рисунок слоя ре-
     зист защиты
                                                       Форма таблицы 3
      Фотошаблоны для изготовления слоев ПП позитивным методом
         Вид                    Тип образца ФШ                     Шифр на
№ изображения на                                                   образце ФШ
         ФШ         негатив   позитив       прямой   зеркальный
1. Рисунок верхнего
    наружного слоя
2.     Рисунок
   внутреннего слоя
         ПП
                                                       Форма таблицы 4
        Фотошаблоны для изготовления слоев ПП методом ПАФОС
         Вид                    Тип образца ФШ                     Шифр на
№ изображения на                                                   образце ФШ
         ФШ         негатив   позитив       прямой   зеркальный
1.     Рисунок
   внутреннего слоя
         ПП
                                                        Форма таблицы 5
        Фотошаблоны для изготовления слоев ПП тентинг-методом
         Вид                    Тип образца ФШ                     Шифр на
№ изображения на                                                   образце ФШ
         ФШ         негатив   позитив       прямой   зеркальный
1. Рисунок верхнего
    наружного слоя
         ПП

                                                                  Форма таблицы 6
 №     Диаметр КП,     Диаметр КП, d           Ширина       Зазор между КП и
          Д мм              мм              проводника, Н    проводником, h
                                                 мм                мм
 1.
 2.
 3.
 4.


                                       74