Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 75 стр.

                                Вариант 2:
  5. Ознакомится с порядком выполнения работы по реактивному распылению
  металлов.

     Работа в лаборатории:
                                         Вариант 1:
       Лабораторное задание состоит из трех пунктов и выполняется в следующем
порядке:
    1. Визуальное изучение образцов фотошаблонов. Идентификация образцов
       фотошаблонов по типу изображения и виду рисунка топологии.
    2. Определение и выбор образцов фотошаблонов для аддитивного,
       позитивного, ПАФОС и тентинг методов производства слоев ПП.
    3. Изучение характерных топологических элементов рисунка, присущих
       наружным и внутренним слоям ПП. Измерение геометрических параметров
       рисунка на различных типах фотошаблонов.
                                         Вариант 2:
    1. 1. В качестве мишени использовать диск из Fe, Ni. Си, Mo, V (по заданию
       преподавателя).
    2. Получить зависимость скорости осаждения пленки (Voc) или толщины (d)
       при следующих условиях:
•      d=f(t) при Uм=const, Ip=const, P=const;
•      Vос=f(Uм) при Ip=const, P=const, t=const;
•      Voc=f(Ip) при Uм=const, P=const, t=const.
(t – время; Uм – напряжение намишени; Ip – ток разряда; P – давление в рабочей
камере).
•      Результаты оформить в виде графика.
       Параметры процесса распыления должны задаваться преподавателем и
находиться в следующих пределах: время распыления t - 1÷20 мин; ток разряда
Iр - 200÷600 мА; напряжение мишени Uм - 800÷3200 В; давление газа Р - 70÷90
делений по шкале вакуумметра (в отчете давление привести в единицах Си).
       Плазмообразующий газ - аргон с содержанием кислорода 5-20% по заданию
преподавателя. Смесь готовится заранее и выдается преподавателем.

     Порядок выполнения работы
                                    Вариант 1:
      1. В процессе визуального изучения образцов ФШ определить следующие
индивидуальные признаки ФШ:
•     Изображение рисунка какого слоя выполнено на образце ФШ.
•     В позитивном или негативном изображении выполнен рисунок на образце
ФШ.
      По маркировке на образце фотошаблона определяется ориентация рисунка
относительно координат. Зеркальный слой маркируется индексом «О». По
окончании изучения образцов и определения вида изображения и типа ФШ данные
о фотошаблонах занести в таблицу 1.
      2. Определить необходимые типы фотошаблонов для изготовления слоев
МПП известными технологическими методами негативным, позитивным, ПАФОС,
тентинг и производится выбор адекватных ФШ из двенадцати, представленных в
образцах ФШ. Данные о выбранных образцах ФШ занести в таблицы,

                                      75