Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 73 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

73
Рис. 11. Внешний вид управляющего блока установки:
1-кнопка отключения форвакуумного насоса; 2-кнопка включения форвакуумного
насоса; 3-индикатор включения форвакуумного насоса; 4-тумблер "Накал катода";
5-индикатор включения накала катода; 6-индикатор "Затвор диф. насоса открыт";
7-индикатор "Затвор диф. насоса закрыт"; 8-прибор "Ток мишени"; 9-прибор
"Напряжение на мишени"; 10-прибор "Ток разряда"; 11-прибор "Напряжение
разряда"; 12-тумблер "Разряд"; 13-ручка "Регулировка тока разряда"; 14-индикатор
включения разряда; 15-тумблер "Мишень"; 16-ручка "Регулировка тока мишени";
17-индикатор включения мишени.
Требования к отчету
Отчет должен содержать:
1. Титульный лист.
2. Цель работы.
3. Краткие теоретические сведения.
4. Результаты выполнения заданий, сведенные в таблицы.
5. Выводы по работе.
Лабораторное задание
Домашняя работа:
1. Ознакомится с описанием лабораторной работы.
2. Выполнить пункты 1-3 требований к отчету.
3. Изучить теоретические сведения.
4. Подготовиться к ответам на контрольные вопросы.
Вариант 1:
5. Подготовить по одному экземпляру формы таблиц 1-6.
Форма таблицы 1
Вид изображения на ФШ Тип образца ФШ № обр.
ФШ
наружн.
слой
внутрен.
слой
резист-
защита
негатив позитив Прямой 3еркаль-
ный
1.
…
12.
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
7
6
5
4
3
2
1 
                                          8                   9




                7
                                                                                   10
               6
               5
                                                                                   11
               4


               3
               2
               1

                                            17           15   14 13      12
                             19      18             16
               Рис. 11. Внешний вид управляющего блока установки:
1-кнопка отключения форвакуумного насоса; 2-кнопка включения форвакуумного
насоса; 3-индикатор включения форвакуумного насоса; 4-тумблер "Накал катода";
5-индикатор включения накала катода; 6-индикатор "Затвор диф. насоса открыт";
7-индикатор "Затвор диф. насоса закрыт"; 8-прибор "Ток мишени"; 9-прибор
"Напряжение на мишени"; 10-прибор "Ток разряда"; 11-прибор "Напряжение
разряда"; 12-тумблер "Разряд"; 13-ручка "Регулировка тока разряда"; 14-индикатор
включения разряда; 15-тумблер "Мишень"; 16-ручка "Регулировка тока мишени";
17-индикатор включения мишени.
      Требования к отчету
      Отчет должен содержать:
   1. Титульный лист.
   2. Цель работы.
   3. Краткие теоретические сведения.
   4. Результаты выполнения заданий, сведенные в таблицы.
   5. Выводы по работе.
      Лабораторное задание
      Домашняя работа:
   1. Ознакомится с описанием лабораторной работы.
   2. Выполнить пункты 1-3 требований к отчету.
   3. Изучить теоретические сведения.
   4. Подготовиться к ответам на контрольные вопросы.
                                     Вариант 1:
   5. Подготовить по одному экземпляру формы таблиц 1-6.
                                                               Форма таблицы 1
   № обр.     Вид изображения на ФШ                               Тип образца ФШ
    ФШ
            наружн.   внутрен.    резист-          негатив    позитив     Прямой        3еркаль-
             слой       слой      защита                                                  ный
  1.
  …
  12.

                                              73

Страницы