Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 76 стр.

выполненные по форме 2-5. Для выполнения данного пункта задания изучите
Приложение 3.
      3. Возьмите образцы ФШ с рисунком наружного слоя, выполненные в
позитивном и негативном вариантах и образцы внутренних слоев на
фотоэмульсионной пленке и на диазопленке, выполненные в позитивном варианте.
•     На ФШ наружных слоев проведите измерения диаметров D контактных
площадок, соответствующих КП под сквозное сверление в слоях ПП.
•     На ФШ внутренних слоев проведите измерения диаметров d контактных
площадок, соответствующих КП внутренних переходов в слоях ПП, и измерьте
ширину линий Н, изображение которых соответствует проводникам на слоях ПП.
Проведите измерение зазора h, между контактной площадкой (ее наружной части)
и линией (проводником). Запишите результаты измерений в таблицу 6.

                                     Вариант 2:
      Внимание!
      Работать на установке, строго выполняя все пункты инструкции.
      Получить стеклянные подложки, обработать их, используя известные вам
методы очистки и приступить к работе на установке.
Исходное положение вентилей кранов и тумблеров установки:
      Вентили "Байпас", "Форвакуум", "Затвор диф. насоса" - закрыты.
      Вентиль "Напуск воздуха в насос" - открыт.
      Все тумблеры выключены, ручки "Регулировка тока разряда" и "Регулировка
тока мишени" - в крайнем левом положении (соответствует выключенному
состоянию).
      Натекатель и кран "Напуск воздуха в систему" - закрыты.
В выключенном состоянии установка разгерметизирована, поэтому можно
беспрепятственно снять защитную сетку с колпака, сам колпак и установить на
держателе подложки. Подложки должны быть чистыми. Избегайте прикосновений
к плоскости подложки руками во избежание их загрязнений.
Порядок включения установки:
1.    Закрыть вентиль "Напуск воздуха в насос".
2.    Открыть воду (средний кран на стене). Высота «фонтанчика» должна быть -
до отметки на стеклянной колбе.
3.    Включить форвакуумный насос нажатием верхней кнопки "Форвакуумный
насос". При этом загорается зеленый индикатор над кнопкой и белый индикатор
"Затвор диф. насоса закрыт".
4.    Открыть вентили "Форвакуумный насос" и "Байпас".
5.    Открыть вентиль "Затвор диф. насоса" вращением его против часовой
стрелки. При этом загорается красный индикатор "Затвор диф. насоса открыт".
6.    Закрыть вентиль "Байпас".
7.    Когда давление в системе достигнет 10-1 мм.рт.ст. или 12 делений по шкале
вакууметра, включить тумблер "Диффузионный насос". При этом загорается
зеленый индикатор.
8.    Откачать систему до предельного вакуума (примерно, 10-4 мм.рт.ст – при
этом стрелка вакуумметра отклонится в крайнее правое положение ).
9.    С помощью натекателя установить требуемое давление рабочего газа.
10.   Включить тумблер "Накал катода". При этом загорается зеленый индикатор.
За счет газовыделений с катода величина вакуума может ухудшиться. После

                                      76