Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 77 стр.

обезгаживания катода давление в системе должно восстановиться.
11.   Включить тумблер "Разряд". Загорается зеленый индикатор.
12.   Поворачивая ручку "Регулировка тока разряда" установить требуемый ток. В
момент зажигания разряда значение вакуума за счет газовыделений со стенок
системы может ухудшиться. Если показания вакуумметра при этом упадут ниже 40
делений - немедленно выключить тумблеры "Разряд" и "Накал катода". В штатном
режиме через несколько минут после зажигания разряда давление в системе
должно установиться до первоначального значения.
13.   Включить тумблер "Мишень", при этом загорается зеленый индикатор.
14.   Плавно поворачивая ручку "Регулировка тока мишени" по часовой стрелке,
установить нужное напряжение на мишени. С этого момента начинается процесс
распыления мишени и осаждения пленки на подложке.
Во время распыления необходимо постоянно следить за показаниями приборов
При зашкаливании стрелок приборов "Ток разряда" или "Ток мишени" немедленно
выключить тумблеры "Разряд" и "Мишень".
15.   После получения пленки нужной толщины напряжение на мишени
уменьшить до нуля, выключить тумблер "Мишень", ручку "Регулировка тока
разряда" вывернуть против часовой стрелки до упора. Тумблер "Разряд" –
выключить. Тумблер "Накал катода" - выключить.
16.   Закрыть натекатель (до упора).
17.   Через 10-15 мин закрыть "Затвор диф. насоса"
18.   Открыть кран "Напуск воздуха в систему".
19.   Снять колпак и установить его на специальном держателе. Извлечь из
держателя подложки с пленкой.
20.   В случае необходимости повторного напыления пленок поместить в
держатель новые подложки и выполнить пункты 21 и 22.
21.   Закрыть кран "Напуск воздуха в систему", закрыть камеру колпаком,
Закрыть вентиль "Форвакуум".
22.   Открыть вентиль "Байпас" и произвести откачку системы. Когда давление в
системе будет 10-1 мм.рт.ст. закрыть вентиль "Байпас", открыть вентили
"Форвакуум" и "Затвор диф. насоса"
Далее проделать последовательность пунктов с 8-го по 19-й.
Порядок выключения установки:
После пункта 19 выполнить следующие действия:
23.   Поставить колпак на систему (в прежнее положение).
24.   Выключить тумблер “Диф. насос".
25.   Через 30 мин закрыть вентиль "Форвакуум" и выключить форкуумный насос
нажатием нижней кнопки "Форвакуумный насос".
26.   Открыть вентиль "Напуск воздуха в насос". При этом будет напущен воздух
в форвакуумный насос.
27.   Закрыть воду, обесточить стенд.
28.   Далее в зависимости от задания преподавателя оценить качество (визуально)
полученной пленки, отметить возможные причины брака или определить толщину
пленки (см. описание к лабораторной работе 6).

      Контрольные вопросы
   1. Поясните назначение фотошаблонов в производстве ПП?
   2. Перечислите общие требования к фотошаблонам?

                                      77