ВУЗ:
Составители:
11
ля волны описывается выражением
(1.1) ,
)n
c
x
t(i
e
0
E
)
V
x
t(i
e
0
EE
где E
0
– амплитуда незатухающей световой волны; i – мнимая единица; ω –
циклическая частота; V и с – скорость света соответственно в среде и в ва-
кууме; n – показатель преломления среды. Если среда не является идеаль-
ным диэлектриком, т. е. обладает отличной от нуля проводимостью σ, то
показатель преломления n в выражении (1.1) необходимо заменить на ком-
плексный показатель
N=n – i ·k,
где
k – коэффициент экстинкции, определяемый электропроводностью
среды. Тогда выражение (1.1) примет вид
.
)n
c
x
-(ti
e
c
kx
-
e
0
E
)N
c
x
t(i
e
0
EE
Таким образом, амплитуда плоской электромагнитной волны при
распространении в среде, не являющейся идеальным диэлектриком, убы-
вает по экспоненциальному закону с показателем ωkx/c. Основными пара-
метрами, определяющими свойства среды, являются показатель преломле-
ния n и коэффициент экстинкции k.
Сущность эллипсометрического метода заключается в следующем.
Пусть на поверхность полупроводниковой пластины падает плоскополяри-
зованный луч света (рис. 1.4, а). Вектор напряженности электрического
поля электромагнитной волны может быть представлен в виде суммы двух
составляющих: p – составляющей Е
р
, которая параллельна плоскости паде-
ния луча, и s – составляющей E
s
, которая перпендикулярна плоскости па-
дения. В отраженном от поверхности пластины луче обе этих составляю-
щих Е
р
’
и E
s
’
в общем случае меняют свои амплитуду и фазу, причем сте-
пень изменения для каждой составляющей различна. В результате отра-
женный луч становится эллиптически-поляризованным.
Рис.1.4. Взаимодействие плоскополяризованного света с полупроводниковой
пластиной (а) и с пленкой, сформированной на пластине (б)
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 9
- 10
- 11
- 12
- 13
- …
- следующая ›
- последняя »
