ВУЗ:
Составители:
56
шой площади с пренебрежимо малым сопротивлением, расположенном на
большом расстоянии от металлического зонда. Условно его можно назвать
собирающим контактом.
Если металлический зонд в точке контакта имеет форму полусферы
радиуса r
0
, то напряжение U между зондом и собирающим контактом со-
гласно (5.3) будет определяться выражением:
.
r2
I
U
0
Отсюда сопротивление растекания точечного контакта R
р
будет равно
(5.6) .
r2I
U
R
0
p
Действительную геометрическую форму и размеры контакта между
металлическим зондом и поверхностью образца установить трудно вслед-
ствие механической деформации того и другого материала. Они зависят от
радиуса зонда, механических свойств материалов зонда и образца, при-
жимной силы. Обычно считают, что в отличие от четырехзондового мето-
да контакт по форме представляет
собой плоский круг, радиус которого
может быть рассчитан по известным значениям модулей Юнга обоих ма-
териалов и прижимной силе. Типичные значения радиуса контакта состав-
ляют несколько микрометров.
Распределение электрического потенциала в полубесконечном одно-
родном образце с круглым плоским омическим контактом радиуса r
0
мож-
но найти из решения уравнения Лапласа. Как показывают расчеты, в отли-
чие от формулы (5.6), справедливой для сферической формы контакта, вы-
ражение для определения сопротивления растекания точечного контакта
R
p
, будет иметь вид:
(5.7) .
r4I
U
R
0
p
На практике для измерения сопротивления растекания и последую-
щего определения удельного сопротивления полупроводника используют
двухзондовую (рис. 5.3, б) и трехзондовую (рис. 5.3, в) схемы измерения.
Рис. 5.3. Метод сопротивления растекания точечного контакта: а) контакт зонда
с образцом; б) двухзондовая схема измерения; в) трехзондовая схема измерения
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 54
- 55
- 56
- 57
- 58
- …
- следующая ›
- последняя »
