Неразрушающие методы контроля параметров полупроводниковых материалов и структур. Смирнов В.И. - 54 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

(5.5) .

2ln





В случае, если толщина пластины соизмерима с расстоянием между

зондами, выражение (5.5) необходимо умножить на поправочную функ-

цию, зависящую от отношения h/s. Кроме этого, необходимо вводить по-

правки в результаты расчета удельного сопротивления, если зонды нахо-

дятся близко к краю пластины. Все эти случаи подробно описаны в специ-

альной литературе и

для соответствующих каждому конкретному случаю

поправочных функций имеются подробные таблицы. Таким образом, че-

тырехзондовый метод обычно используют для измерения удельного со-

противления относительно больших образцов, размеры которых сущест-

венно превосходят расстояние между зондами. Для образцов в виде пла-

стины малых размеров более предпочтительным является метод Ван-дер-Пау.

5.1.2. Метод Ван-дер-Пау

Суть метода Ван-дер-Пау заключается в следующем. По периметру

плоской пластины на ее боковой поверхности формируются контакты 1, 2,

3 и 4 (рис. 5.2, а). Вначале через контакты 1 и 4 пропускают электрический

ток I

и измеряют напряжение U

между контактами 2 и 3. На основании

этих измерений определяется сопротивление R



Затем пропускается ток I

через контакты 1 и 2 и измеряют напря-

жение U

между контактами 3 и 4, что позволяет определить сопротивле-

ние R



Рис.5.2. Метод Ван-дер-Пау: а) схема размещения зондов;

б) график поправочной функции