Неразрушающие методы контроля параметров полупроводниковых материалов и структур. Смирнов В.И. - 7 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

УлГТУ | Ульяновск

Составители: 

Рубрика: 

7
,
2
f
1
f
D
N
где D – расстояние наилучшего зрения, примерно равное 250 мм; Δ – рас-
стояние между задним фокусом объектива и передним фокусом окуляра,
называемое оптическим интервалом или оптической длиной тубуса; f
1
и
f
2
– фокусные расстояния объектива и окуляра.
Важной характеристикой микроскопа является
числовая апертура
NA, которая определяется выражением:
,sinnNA
где n – показатель преломления среды перед объективом; α – угол полурас-
твора конуса в котором сходится свет (рис. 1.1). Числовая апертура опре-
деляет способность линзы объектива собирать рассеянный от объекта свет.
Для того чтобы увеличить апертуру, пространство между рассматривае-
мым объектом и объективом заполняется так называемой иммерсионной
жидкостью – прозрачным веществом с показателем преломления
больше
единицы. В качестве такой жидкости используют кедровое масло, раствор
глицерина и др.
Разрешающая способность σ характеризует способность линзы объ-
ектива раздельно наблюдать близко расположенные детали объекта. Она
определяется выражением:
,
NA2
где λ – средняя длина волны света. Чем больше числовая апертура, тем
выше разрешение. Но бесконечное повышение σ ограничивает дифракция
света – нельзя наблюдать детали, имеющие размеры меньше λ/2.
Глубина резкости микроскопа характеризуется величиной верти-
кального смещения образца, которое может быть произведено без потери
фокусировки. Эта величина обратно пропорциональна квадрату числовой
апертуры. Это означает, что при грубой поверхности образца целесообраз-
но использовать объективы с малой числовой апертурой.
1.2. Оптическая микроскопия в режиме интерференционного
контраста
Сущность интерферометрических методов состоит в получении ин-
формации об объекте по образованию в плоскости изображения соответст-
вующего распределения интенсивности и фазы оптического излучения,
прошедшего через объект или отраженного от него. Интерференционные
методы применяются для решения следующих задач:
- определения класса чистоты обработки поверхности подложек;

Страницы