Неразрушающие методы контроля параметров полупроводниковых материалов и структур. Смирнов В.И. - 72 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Достоинством временного метода является то, что информация о те-

плофизических параметрах объекта измерения получается за один времен-

ной скан, не превышающий обычно по длительности несколько сотен се-

кунд при общем количестве отсчетов температуры менее 2000 (200 отсче-

тов на декаду). Вместе с тем необходимо учитывать, что изменения темпе-

ратуры между соседними отсчетами могут

составлять величину на уровне

0,01ºС (рис. 5.8, б). При температурном коэффициенте напряжения

2 мВ/ºС это соответствует изменению прямого напряжения на

p-n-переходе около 0,02 мВ, что меньше единицы младшего разряда

16-битного АЦП. Возможность провести многократные измерения темпе-

ратуры с последующим усреднением отсутствует. Все это может привести

к существенным погрешностям, вызванным квантованием аналогового

сигнала при измерении температуры перехода.

В частотном методе для определения всех компонент теплового со-

противления необходимо произвести как минимум несколько

десятков из-

мерений теплового сопротивления при разных частотах модуляции грею-

щей мощности. Поэтому по оперативности спектральный метод сущест-

венно уступает временному. Его основное достоинство – более высокая

точность измерения теплового сопротивления. Повышение точности дости-

гается за счет того, что для определения теплового сопротивления использу-

ется Фурье-преобразование по выборке, состоящей обычно

из нескольких ты-

сяч измерений температуры. Это позволяет достаточно точно определить ам-

плитуду колебаний температуры перехода при нагреве прибора переменной

мощностью, изменяющейся по гармоническому закону, и, как следствие, бо-

лее точно определить тепловое сопротивление полупроводникового прибора.