ВУЗ:
Составители:
74
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
В процессе разработки и последующем производстве полупроводни-
ковых приборов и интегральных микросхем перед проектировщиком и
технологом могут возникнуть самые разные задачи по контролю результа-
тов той или иной технологической операции. Каждая задача имеет, как
правило, несколько вариантов решения, основанных на использовании
различных методов. Выбрать оптимальный метод с точки зрения чувстви-
тельности и точности результатов измерений, а также сложности его реа-
лизации и стоимости часто бывает весьма непросто. Данное учебное посо-
бие может облегчить этот выбор. Оно не претендует на полноту сведений о
каждом из этих методов. Для этого есть специальная литература с деталь-
ным описанием каждого из методов, есть техническая документация
с
описанием соответствующего приборного оборудования. Но для того,
чтобы разобраться в специальной литературе по тому или иному методу
контроля параметров, некоторое предварительное знакомство с основными
методами необходимо. Цель пособия как раз и заключается в предоставле-
нии будущим технологам электронных средств минимальных сведений о
сути тех или иных методов контроля параметров
полупроводниковых ма-
териалов и структур, очерчивание круга решаемых задач и пределов их
функциональных возможностей. Автор надеется, что материал, изложен-
ный в данном пособии, позволит будущему магистру техники и техноло-
гий более осознанно выбирать нужный метод измерения и контроля пара-
метров полупроводниковых материалов и структур, обеспечивающий дос-
таточную точность при минимальных экономических
затратах.
