ВУЗ:
Составители:
75
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1. Вудраф, Д. Современные методы исследования поверхности /
Д. Вудраф, Т. Делчар. – М. : Мир, 1989. – 564 с.
2. Физические методы исследования неорганических веществ / под
ред. А. Б. Никольского. – М. : Академия, 2006. – 443 с.
3. Марголин, В. И. Физические основы микроэлектроники /
В. И. Марголин, В. А. Жабреев, В. А. Тупик. – М. : Академия, 2009. – 400 с.
4. Праттон, М. Введение в физику
поверхности / М. Праттон. –
Ижевск : НИЦ «Регулярная и хаотическая динамика», 2000. – 256 с.
5. Игнатов, А. Н. Классическая электроника и наноэлектроника /
А. Н. Игнатов, Н. Е. Фадеев, В. Л. Савиных. – М. : Наука, 2009. – 726 с.
6. Нанотехнологии в электронике / под ред. Ю. А. Чаплыгина. – М. :
Техносфера, 2005. – 446 с.
7. Суздалев, И. П. Нанотехнология: физико-химия нанокластеров,
наноструктур и
наноматериалов / И. П. Суздалев. – М. : КомКнига, 2006. – 592 с.
8. Оура, К. Введение в физику поверхности / К. Оура, В. Лившиц. –
М. : Мир, 2006. – 494 с.
9. Зи, С. Технология СБИС. В 2-х кн. / С. Зи. – М. : Мир, 1986.
10. Рембеза, С. И. Методы измерений основных параметров полу-
проводников / С. И. Рембеза. – Воронеж : Изд-во Ворон. ун-та
, 1989. – 224 с.
11. Павлов, Л. П. Методы измерения параметров полупроводниковых
материалов / Л. П. Павлов. – М. : Высш. шк., 1987. – 239 с.
12. Батавин, В. В. Измерение параметров полупроводниковых мате-
риалов и структур / В. В. Батавин, Ю. А. Концевой, Ю. В. Федорович. – М. :
Радио и связь, 1985. –264 с.
13. Готра, З. Ю. Контроль качества и надежность микросхем /
З
. Ю. Готра, И. М. Николаев. – М. : Радио и связь, 1989. – 168 с.
14. Броудай, И. Физические основы микротехнологии / И. Броудай,
Дж. Мерей.
М. : Мир, 1985. 496 с.
