Технология радиоэлектронных средств. Ч.1. Светличный А.М - 14 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

14
Порядок расчета.
Величины D
1
и N
s
при Т=950
0
С находим из таблицы 1.3 или
из рис. 1.1 и рис.1 4. D
1
=3·10
-14
см
2
/с – коэффициент диффузии
бора в кремнии при Т
3.
Ns=3,2·10
20
см
-3
– предельная растворимость бора при Т
3.
Определим соотношение N
0
/N
s
и из таблицы 1.2 допол-
нительной функции интеграла ошибок найдем величину
х/2
:
11
tD
N
0
/N
s
=7, 8125·10
-6
, тогда х
3
/2 Dt =3, 1786
Время проведения диффузии будет
t
1
=x
3
2
/(4D·(3, 1786)
2
)=267,2 c или 4, 4 мин.
Распределение примеси при загонке определяем из
выражения
N(x, t)=N
s
erfc( ).
2 Dt
x
Результаты расчетов сведены в табл. 1.4.
Таблица 1.4
t, мин 0 0,18 0,036 0,054 0,072
N, см
-3
3,2·10
20
2,09·10
20
1,18·10
20
5,68·10
19
2,31·10
19
t, мин 0, 09 0, 108 0,126 0, 144 0, 162
N, см
-3
7,87·10
18
2,2·10
18
5,31·10
17
1,03·10
17
1,67·10
16
t, мин 0, 18
N, см
-3
2, 2·10
15
График распределения бора при загонке показан на рис. 1.6.
Интегральное количество примеси Р
0,
введенное за время t,
будет
P
0
=
π
DtN
s
2
= 1,02·10
15
см
-2
.
1. 2. 5. Диффузия из конечного источника примеси
В планарной технологии диффузию проводят в два этапа.
Для окончательного формирования диффузионной области
введенную на первом этапе примесь подвергают

Страницы