Технология радиоэлектронных средств. Ч.1. Светличный А.М - 15 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

перераспределению. Этот второй этап диффузии, называемый

разгонкой примеси, соответствует диффузии из конечного (или

ограниченного ) источника примеси.

0 0,04 0,08 0,12 0,16 0,2

Глубина, мкм

1 10

•

Рис. 1. 6.

Моделью этого этапа может служить диффузия из слоя

толщиной ∆h в полуограниченное тело. Предположим, что в

этом слое, примыкающем к гра-нице полубесконечного тела,

имеется равномерно распределенная примесь с концентрацией

s ,

а во всей остальной части тела при х>∆h концентрация

примеси равна нулю. Будем также считать, что поток примеси

через границу x=0 отсутствует. Такие границы принято

называть отражающими. Примером отражающей поверхности