ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
54
Рис.П3.2
3.Определить разность потенциалов между внутренними
зондами.
4.Определить объемное удельное сопротивление.
5.Зная объемное сопротивление, определить концентрацию
N по графику Ирвина N = f (ρ
v
) (график находится на
рабочем месте).
Примечание. Измерение нужно провести несколько раз в
разных местах изучаемой области и найти среднее значение
ν
ρ
.
Если необходимо определить распределение удельного
сопротивления по глубине легированного слоя, проводят после-
довательно серию измерений. Причем каждое последующее
измерение выполняют после удаления слоя определенной
толщины шлифовкой или травления в полирующем травителе.
Найденные значения удельных поверхностных сопро-
тивлений R
s ni
и R
s ni+1,
различающихся на толщину Δх
позволяют рассчитать поверхностное удельное сопротивление
R
s
= R
sn2
·R
sn2
/(R
sn2
– R
sn1
),
