ВУЗ:
Составители:
256
из частиц осаждаемого вещества. В качестве реакционного газа применяют азот
или углеводород, в результате формируется нитридное или карбидное покрытие.
Имеется несколько разновидностей метода. Катодное распыление основано
на использовании расположенных в вакуумной камере двух электродов. После
откачки воздуха камера заполняется аргоном, на электрод с деталью подают
отрицательный потенциал. Поверхность детали очищается в газовом разряде
путем бомбардировки ионами. Далее отрицательный потенциал подается на
испаряемый материал, который распыляется и ионизируется в плазме разряда.
Частицы осаждаются на детали, создавая покрытие. Если использовать
реакционный газ, пролетая через который атомы металла образуют нитриды,
карбиды или окислы, можно получить требуемый структурно-фазовый состав
покрытия. Скорость осаждаемых частиц достигает 10 км/с, поэтому они прочно
сцепляются с основой. Наилучшие результаты получаются при использовании
для испарения лучевых методов нагрева (электронно-лучевого и лазерного).
Применяется дополнительное ускорение ионов наложением электрического поля.
Широко распространена технология нанесения покрытий из плазмы
дугового разряда с холодным катодом. Материал испаряется катодным пятном
электрической дуги – сильноточным низковольтным разрядом, развивающимся
в парах материала электродов. Между анодом и катодом из напыляемого ма-
териала возникает разряд, протекающий в парах продуктов эрозии катода.
Металлическая плазма выделяется из микропятен катода, в зонах которых
возникают локально высокая температура и давление. Прикладывая к детали
ускоряющий потенциал, повышают скорость генерируемых в плазме ионов. Та-
кая технология реализуется в имеющихся на многих предприятиях установках
«Булат». Наиболее часто наносят покрытия из TiC, TiN, AI
2
O
3
– особо твердых
износостойких материалов. Развитие метода связано с внедрением плазменных
ускорителей, формирующих сфокусированный высокоскоростной ионно-
плазменный пучок, сканирующий поверхность детали. Здесь так же, как и в
электронно-лучевой трубке, фокусирование пучка и сканирование осущест-
вляются с помощью электростатических, магнитных линз и отклоняющих
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 254
- 255
- 256
- 257
- 258
- …
- следующая ›
- последняя »
