Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 93 стр.

UptoLike

Рубрика: 

93
2.Соединить кабелем преобразователь с измерительным
блоком.
2.Включить тумблерсеть”.
3.Установить переключательизмерениеток нагревателя
в положениеток нагревателя”.
4.Вращая ручкуток нагревателя”, установить значение то-
ка 125 мА (рисунок 8 – положение 3).
5.Перевести переключательизмерениеток нагревателяв
положениеизмерение”.
Отсчёт производится по верхней шкале вакуумного индика-
тора (100 делений соответствует 10 мВ).
Полученные значения переводят в единицы давления по
градуировочной кривой (кривая 1 на рисунке 39).
Рис. 39. Градуировочная кривая (кривая 2)
Порядок работы на плазменном модуле СВЧ
Внимание: для того, чтобы избежать поломок плазменного
модуля СВЧ, перед его включением необходимо проверить в
нём наличие колбы с водой. Она служит для поглощения избы-
точной энергии, выделяющейся при работе магнетрона.
1.Оснастку с установленной на ней деталью помещают в
                              93

     2.Соединить кабелем преобразователь с измерительным
блоком.
     2.Включить тумблер “сеть”.
     3.Установить переключатель “измерение – ток нагревателя”
в положение “ток нагревателя”.
     4.Вращая ручку “ток нагревателя”, установить значение то-
ка 125 мА (рисунок 8 – положение 3).
     5.Перевести переключатель “измерение – ток нагревателя” в
положение “измерение”.
     Отсчёт производится по верхней шкале вакуумного индика-
тора (100 делений соответствует 10 мВ).
     Полученные значения переводят в единицы давления по
градуировочной кривой (кривая 1 на рисунке 39).




           Рис. 39. Градуировочная кривая (кривая 2)

         Порядок работы на плазменном модуле СВЧ
    Внимание: для того, чтобы избежать поломок плазменного
модуля СВЧ, перед его включением необходимо проверить в
нём наличие колбы с водой. Она служит для поглощения избы-
точной энергии, выделяющейся при работе магнетрона.
    1.Оснастку с установленной на ней деталью помещают в