Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 94 стр.

                             94

плазменный реактор.
     2.Закрывают крышку, плотно прижав её к фланцу реактора.
     3.Открывают вентиль "откачка" и удерживают крышку в
течение 2-3 с, крышку прижмет вакуумом.
     4.Подключают ВИТ-2 (см. “Подключение ВИТ-2”).
     Ждут 7-10 минут, чтобы насос выкачал вакуум до пре-
дельного давления (показания 4 - 5 мВ на термопарной шкале
ВИТ-2; рисунок 8 – положение 2).
     5.Игольчатым натекателем ("газонапуск") устанавливают
необходимый расход рабочего газа, который контролируют по
показаниям ВИТ-2. Оптимальным является то значение, кото-
рое лежит в интервале 1 - 1,5 мВ (рисунок 38 – положение 1).
Именно при этих значениях расхода рабочего газа плазмохи-
мическая обработка протекает наиболее эффективно.




     Рис. 40. Свечение, как результат образования плазмы

     Ждут 1-2 минуты для того, чтобы рабочий газ заполнил
плазменный реактор.
     6.Ручкой регулировки мощности на панели управления
микроволновой печи выставляют требуемую мощность. Ручкой
таймера устанавливают время протекания процесса (рис. 33).
     Появление яркого свечения в плазменном реакторе свиде-
тельствует о начале протекания процесса. 7.После окончания