Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 96 стр.

                               96

ложение “установка” и снять со столика стандартный образец.
     10.Поставить переключатель “поправка %“ в положение 0.
     Разделить ρв на величину 4,53 и обозначить полученное ча-
стное сопротивление через R.
     Рассчитать величину удельного сопротивления при заме-
ренной температуре окружающей среды по формуле:
ρ t = R ⋅ d ⋅ F1 ⋅ F2 (Ом·см), где d – толщина стандартного образ-
ца монокристаллического кремния; F1 и F2 – коэффициенты,
приведенные в приложении в соответствующих таблицах.
     Рассчитать ρ ' = ρ t ⋅ Ft , где Ft – температурный коэффици-
                                            1 − C t (t o C − 23)
ент, который рассчитывается по формуле Ft =                      ,
                                                  100%
где Сt – коэффициент, приведённый в приложении в соответст-
вующей таблице.
      Сравнить ρ ' с величиной удельного сопротивления, ука-
занной в аттестационном документе.
      Эти величины не должны расходиться более чем на 4,5 %.
       После установления расхождения ρ ' и эталонного ρ ,
можно приступать к измерению поверхностного сопротивле-
ния образцов, используемых в лабораторной работе.
      11.Включить тумблер “сеть”, расположенный на передней
части блока преобразования сигнала БПС.
      12.Измеряемый образец кладут на столик манипулятора 4
(рисунок 41). Совмещают отверстия прицела с тем местом, в
котором будет произведено измерение.
      13.Поставить рукоятку для ручного привода манипулятора
(8) в положение “измерение”.
      Внимание: измерение должно производиться на расстоянии
не менее 2 мм от краёв образца, чтобы исключить возникновение
краевых эффектов.
      14.Находят диапазон измерения (Ом/ или кОм/ ) нажати-
ем кнопки блока переключателя, расположенного на передней
панели устройства контактного УК, при котором показания ин-
дикаторной лампы старшего разряда отлично от 0 и не гаснет ин-