Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 97 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

МИРЭА | Москва

Составители: 

Рубрика: 

97
дикаторная лампа младшего разряда
Рис. 41. Схематическое изображение контактного устройства УК.
15.Производят отсчёт установившегося показания удельного
поверхностного сопротивления по индикаторным лампам.
Показания снимаются в пяти точках образца. Четыре – по
его углам, а пятая – в середине. Полученные значения усредня-
ются, и находится среднее значение поверхностного сопротивле-
ния образца.
“Холостое” включение плазменного модуля СВЧ
Под термином “холостое включение” подразумевается гене-
рация плазмы в вакуумной камере, не содержащей образец. Це-
                             97

дикаторная лампа младшего разряда




Рис. 41. Схематическое изображение контактного устройства УК.
     15.Производят отсчёт установившегося показания удельного
поверхностного сопротивления по индикаторным лампам.
     Показания снимаются в пяти точках образца. Четыре – по
его углам, а пятая – в середине. Полученные значения усредня-
ются, и находится среднее значение поверхностного сопротивле-
ния образца.
       “Холостое” включение плазменного модуля СВЧ
    Под термином “холостое включение” подразумевается гене-
рация плазмы в вакуумной камере, не содержащей образец. Це-

Страницы