Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 95 стр.

                              95

обработки, открывают дверцу камеры СВЧ генератора.
     8.Закрывают вентиля "откачка" и "газонапуск". Дают ос-
тыть системе 5-10 минут.
     9.Медленно открывают кран "напуск", придерживая
крышку вакуумной камеры.
     10.После снятия крышки достают обработанную деталь и
проводят дальнейшие измерения на ИУС-3.
                  Порядок работы на ИУС-3
     Перед проведением измерений образцов необходимо ус-
тановить погрешность измерения удельного сопротивления,
используя стандартный образец монокристаллического крем-
ния проводимостью 4 Ом·см и толщиной 0,5 мм. Для этого:
     1. Рассчитывают величину поправки по формуле: поправ-
ка в % = 40·(В-3)-110·(а-1), где а и В – расстояния (мм) между
внутренними и внешними контактами контактной головки.
     2. Включить тумблер “сеть”, расположенный на передней
части блока преобразования сигнала БПС.
     3. Переключатель “поправка %” ставят в положение, ко-
торое соответствует полученной величине.
     4. Помещают стандартный образец на столик манипуля-
тора, приблизительно совместив отверстия прицела с центром
образца.
     5. Ставят рукоятку для ручного привода манипулятора (8)
в положение “измерение”.
     6.Находят диапазон измерения (Ом/ или кОм/ ) нажати-
ем кнопки блока переключателя, расположенного на передней
панели устройства контактного УК, при котором показания
индикаторной лампы старшего разряда отлично от 0 и не гаснет
индикаторная лампа младшего разряда.
     7.Производят отсчёт установившегося показания удельного
поверхностного сопротивления по индикаторным лампам, кото-
рое обозначают через ρв.
     8.Замеряют температуру окружающей среды.
     9.Поставить рукоятку ручного привода манипулятора в по-