Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники - 1 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

621.382.8(075) № 4670-14021-1

А239

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ

РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Федеральное государственное автономное образовательное

учреждение высшего профессионального образования

Южный федеральный университет

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ В г. ТАГАНРОГЕ

О.А. Агеев,

А.А. Федотов,

В.А. Смирнов

МЕТОДЫ ФОРМИРОВАНИЯ СТРУКТУР

ЭЛЕМЕНТОВ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

И НАНОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ

Учебное пособие

Часть 1

Таганрог 2010