Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники - 1 стр.

UptoLike

621.382.8(075) № 4670-14021-1
А239
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ
РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Федеральное государственное автономное образовательное
учреждение высшего профессионального образования
Южный федеральный университет
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ В г. ТАГАНРОГЕ
О.А. Агеев,
А.А. Федотов,
В.А. Смирнов
МЕТОДЫ ФОРМИРОВАНИЯ СТРУКТУР
ЭЛЕМЕНТОВ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
И НАНОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ
Учебное пособие
Часть 1
Таганрог 2010